儀器簡介
設備名稱 : 電性量測系統
廠牌 : Agilent
型號 : Agilent 4155C、Agilent 4284A、Agilent E5250A
本量測系統整合Agilent儀器並配合ICS量測軟體，共可進行以下量測： (1) 量測元件(二極體，電晶體、IC…)的特性、繪製元件特性、分析元件參數及執行通過或失敗的評估。 (2) 量測MIS電容的介質層相關參數，如氧化層厚度、Dit、電容值、摻雜濃度等(3) 量測介質層經熱及偏壓等外界應力作用後，其中可移動離子（mobile ion）的量。
